攻克“硬脆薄”加工瓶颈!苏州铼铂机电发布面向三五族半导体的高精度减薄抛光解决方案

2026-01-12

苏州铼铂机电科技有限公司,凭借其自主研发的专用设备与工艺,成功协助某头部材料企业实现了2英寸金刚石晶圆的纳米级超精密减薄与抛光。经权威检测,加工后晶圆表面粗糙度(Ra)稳定控制在 3纳米(3nm)以内。

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