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一类是真空吸附固定夹具,另外一类的固定方式是采用夹持锁定的方式,
这两类夹具都具有很高的研磨抛光加工精度,
直径50毫米的晶圆磨抛精度可以达到1-2微米,
表面粗糙度可以在5纳米以下
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