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对GaAs,Inp 等半导体基板进行划线和裂片的设备。 可用于研发及量产。
本设备专为GaAs、InP等半导体基板的划线与裂片工艺设计,广泛应用于研发与量产阶段。
设备特点:
最大支持8英寸晶圆尺寸
划痕宽度可精确控制至≤10μm
分辨率高达1μm,确保高精度加工
该设备适用于半导体行业中对划线精度和裂片质量要求极高的应用,提供稳定可靠的性能支持。
详情资料可咨询我公司人员获取。
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