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双工作站台式机型,适用于6英寸及以下晶圆的精密研磨抛光。磨抛盘直径400mm。
LP062型精密研磨抛光机
是一款双工作站台式设备,专为6英寸及以下晶圆的精密研磨和抛光设计,磨抛盘直径为400mm。
该设备支持2个精密夹具,能够同时进行高效的研磨和抛光作业。
采用双蠕动泵供液系统,并配备单滚筒搅拌功能,有效防止料液沉淀,确保供液稳定均匀。
摆臂可选配主驱电机功能,进一步提升研磨抛光效率。
触摸屏操作界面,支持程序编辑与存储,方便用户管理和调用工艺程序。
真空开关控制设计,简化夹具操作,提高操作便捷性。
详情资料可咨询我公司人员获取。
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